電子特種氣體是什么？
電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”，在微電子和光電子器件的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最終器件封裝，幾乎每一個步驟和環(huán)節(jié)都離不開電子氣，因此電子氣被稱為半導體材料的“食物”和“來源”，電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%，雖然看似占比不大，但是很大程度上決定了半導體器件性能的好壞，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級,都會極大地推動半導體器件質(zhì)的飛躍。
電子特種氣體廣泛應用于半導體、微電子及相關太陽能電池等高科技行業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化和清洗，或用作載氣、保護氣氛等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產(chǎn)化問題。
電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大半導體材料市場需求，2016年電子氣國內(nèi)市場需求為48.02億，占比14%。特種電子氣體高端產(chǎn)品被國外壟斷。該領域主要生產(chǎn)廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素，市場份額合計85%。據(jù)全球半導體協(xié)會統(tǒng)計，純電子氣體有60多種，混合氣體有80多種，據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計，2012-2016年，國內(nèi)電子氣企業(yè)實際產(chǎn)銷量占國內(nèi)晶圓制造用電子氣市場需求的比例從3.8%上升到25.0%。雖然國內(nèi)電子氣的比重大幅提高，但其總產(chǎn)量仍不能滿足國內(nèi)市場需求，電子特種氣體的品種和產(chǎn)量亟待提高。
在整個行業(yè)供應鏈中，氣體原料、設備、運輸和客戶非常重要，是氣體供應商的利潤來源?，F(xiàn)在氣體產(chǎn)品種類繁多，客戶對氣體產(chǎn)品的需求多樣化，往往在某個終端產(chǎn)品的制造中需要幾十種以上的氣體。
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